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PECVD水洗式尾气处理设备

作者:admin 发布日期:2016/5/20 11:09:09点击:1084

 

半导体行业水洗式(湿法)尾气处理设备 产品应用:为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备,应用于半导体行业、太阳能电池行业废气处理 

PECVD水洗式尾气处理设备的详细信息

半导体行业水洗式(湿法)尾气处理设备


产品应用:为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备,应用于半导体行业、太阳能电池行业废气处理 
规格参数

尺寸:800长×805宽×1500高
类型:湿法水洗式
处理能力:400升/分钟
排污方式:自然排+泵强排
喷淋室:加压喷射
水处理方式:泵循环+自来水
电源:单相AC220V、45A、13KVA

◆处理原理:湿法:多级水喷淋,使易溶于水或与水反应生成沉积的物质,达到有毒腐蚀易燃易爆的气体完整吸收。

       ◆处理的气体种类包括NH3、HCL、Cl2等。

    ◆控制方式:全自动/手动(可切换)


    ◆完善的报警、连锁保护措施,如断水报警、人工或自动切入外接水临时处理以及根据用户定制的不同安全处理要求以适应不同行业的实际工艺使用要求

    ◆气路管件采用1/4”及3/8”不锈钢管道,为耐腐蚀级316L(CARDINAL/SANDVIK)、燃烧室及喷淋室为304不锈钢,阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、塑料管道阀门采用优质PVC材料,泵采用耐腐蚀水循环泵、连接口采用标准的KF连接及VCR、卡套等接口,管道采用自动轨道焊接

想了解此产品详细工艺请联系供应商无锡君晓机电设备有限公司,联系电话:18262289034,联系人:沈先生