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CT-BW尾气处理设备工艺(centrotherm)

作者:admin 发布日期:2015-08-26 23:00:48点击:1082

 

CT-BW燃烧水洗,使用点对点废气减排

针对废气处理的燃烧-水洗系统
 
概述
 
CT-BW使用点对点废气减排系统是应用于光伏、半导体以及其
它相关产业的化学气相沉积和刻蚀等领域的一种高性能系统。
随着新工艺引进了具有高腐蚀性气体且逐渐增加气体负荷量,
废气减排技术需要进一步改善。
 
CT-BW不仅满足此要求,且符合国际安全标准。CT-BW具有许
多优点,例如,针对化学气相沉积、蚀刻制程的废气(尤其是
全氟化合物、各类固体、气态反应的副产物)有着高破坏除去
效率(DRE)。
 
该系统的设计是极可靠的,即使在严苛的制程条件下仍具有资
源节约性能。
 
独立的功能部件(例如,燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气进
口、冷却系统)可以根据各种应用而灵活地安装。
 
我们延长维护周期和最大化正常运行时间的秘诀是─客户量身
定制的废气减排系统。

1. 废气进口
2. 旁路
3. 燃烧头
4. 反应腔
5. 水箱
6. 循环水喷嘴
7. 水洗腔
8. 水洗床
9. 过滤器
10. 纯水进口
11. 净化气体出口
12. 循环泵–反应腔
13. 热交换器
14. 加药泵–中和
15. 储存箱–中和
16. 收集盘–中和
17. 循环泵–水洗腔
18. 废水排放泵

特点和优势
 
• 高达99.99%的破坏除去效率(DRE)
• 模块化
 - 一个电器柜可连接高达四组独立模块
 - 模块间彼此隔离
 - 每个模块都有其独立的安全链(传感器,探针等)
• 每个介质只需要一个Hook-up连接点,可多达4个模块
• 客户量身定制的备用配置
• 低运行成本,根据制程来控制燃烧头性能
• 改良的抗腐蚀反应腔盖
• 上至下燃烧器设计,降低燃烧头喷嘴的阻塞问题
• 反应腔中的水幕,避免腐蚀和阻塞问题
• 由于经优化的内部设计,可使维护简易且快速
• 自动化的废气进口清洁装置,增加MTBPM
• 图形化的使用介面并附解说文字,使故障排除更为容易
• Ethernet或RS485的监控接口
• 量身定制的废气减排设置,以满足各种工艺需求
• 燃料气的选择性高,如:液化天然气、城市燃气、煤气、氢气、丙烷、丁烷等
• 符合以下的国际安全标准与规范:
 - SEMI S2-0706
 - SEMI S8-0308
 - SEMI S14-0704
 - NFPA79: 2007
 - EN / ISO 14121-1: 2007
 - EN / ISO 13849-1: 2008
 - EN60204-1: 2006
 - MD2006/EC/42-Annex I: 2006
• 德国制造
 
CT-BW不仅满足此要求,且符合国际安全标准。CT-BW具有许
多优点,例如,针对化学气相沉积、蚀刻制程的废气(尤其是
全氟化合物、各类固体、气态反应的副产物)有着高破坏除去
效率(DRE)。
 
该系统的设计是极可靠的,即使在严苛的制程条件下仍具有资
源节约性能。
 
独立的功能部件(例如,燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气进
口、冷却系统)可以根据各种应用而灵活地安装。
 
我们延长维护周期和最大化正常运行时间的秘诀是─客户量身
定制的废气减排系统。