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SCRUBBER废气处理系统

作者:admin  来源:本站  发表时间:2016-06-17 8:25:11  点击:1575

◆满足2"~6"/8"晶圆工艺尺寸等
◆工作温度:200~1200℃
◆真空/气氛,极限真空可达10-4Pa
◆控温精度好,恒温区稳定
◆真空双室结构(双室/准双室),生产效率高
◆采用自动推拉舟(悬臂送片器)
◆工业计算机全自动控制,操作方便简捷
◆材料双工艺模式,水平及垂直
SCRUBBER应用:为MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备,应用于半导体行业、太阳能电池行业废气处理, 处理的气体种类包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6(BH3)、H2、NF3、CHF3
湿法│Wet Type
应用于LED、半导体行业,多用于MOCVD(GaN工艺)尾气处理
 产品简介:
◆多级水喷淋,使易溶于水、与水反应生成沉积的物质或有毒腐蚀易燃易爆的气体得到完整的回收;
◆完善的报警、连锁保护措施,如断水报警、人工或自动切入外接水临时处理,根据用户定制的不同安全处理要求以 适应不同行业的实际工艺使用要求;
◆生产型/科研型,全面满足客户需求。
湿法+燃烧│Wet+Burning Type
 SCRUBBER产品特点:
◆应用于太阳能电池、半导体行业,主要用于PECVD、刻蚀机等的尾气处理;
◆采用电热燃烧方式,有毒气体等与空气燃烧反应生成无毒的物质及易溶于水的物质,排放物为无毒无害的气体;
◆处理能力:100SLM~400SLM,10SLM(研发型)。
 SCRUBBER主要技术指标:
◆外形尺寸:750mmW×1000mmD×1800mmH; 
◆供电:三相四线/380VAC/50HZ/8KW(MAX); 
◆处理能力:100~400SLM (AWG-200HW型为200SLM, AWG-100HW型为100SLM)
◆空气:5-6Kg/cm2,1/4英寸管道 ,170LPM(MAX)
◆N2,5-7Kg/cm2,1/4英寸管道,70LPM(MAX) 
◆加热温度:室温~800℃~800℃
产品详情:http://www.liyuntrade.net

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